将光学检测技术和仪器的产业化推到新的高度

　　2016年5月10日，由中国光学工程学会、中国高科技产业化研究会、国际光学工程学会(SPIE)、美国光学学会(OSA)主办的2016年国际光电技术与应用系列创新研讨会(OTA 2016)在京开幕。此次研讨会除了大会报告之外，还设有13个分会场，分别为1.国际高功率激光技术与高能激光应用研讨会2.国际激光制造与激光检测技术研讨会、3.国际3D打印技术及其应用研讨会(2.3.合并)、4.国际光学系统设计与制造及应用研讨会、5.国际光学检测技术及仪器研讨会、6.国际机器人感知与智能控制技术研讨会、7.国际天文望远镜与仪器研讨会、8.国际大数据光存储技术研讨会、9.国际高光谱遥感应用研讨会、10.国际硅基光电子与集成研讨会、11.国际红外技术与应用研讨会、12.国际环境监测与安全检测技术及应用研讨会、13. 纪念光纤发明50周年大会等。

　　5月10日下午至5月11日是大会的分会场研讨时间。分会之一国际光学检测技术及仪器研讨会作为国际光电技术与应用系列创新研讨会的重要组成，每年都吸引来国内外光学检测技术研发专家们到会参加讨论。据主办方中国光学工程学会介绍，往届的光学检测技术及仪器研讨会更注重技术的研发探讨，今年的会议是首次明确将光学检测技术和仪器的产业化作为研讨的主题，这也是响应国家支持科研成果转化的号召。

　　本届国际光学检测技术及仪器研讨会共包括来自国内外工程化院校、研究所以及商业化仪器企业的25个报告，吸引了百余位相关研究实验室和企业的参会者。以下是部分报告介绍：

　　哈工业大学精密仪器工程研究院谭久彬教授报告的题目是《高端超精密仪器产业化探索》。据介绍，我国工业化进入中后期，高端装备发展走到了必须发展的道路。超精密仪器技术已经是大国必争的战略高地，而目前我国面临发达国家和新兴国家的双重挑战。我国超精密仪器产业化发展存在很多问题，如理念陈旧、企业自主创新能力较低等。充分发挥大学研究所自主创新能力强的优势，让工科大学研发平台与企业的产业化平台一体化对高端精密仪器产业化将产生巨大的推动作用。谭久彬教授还介绍了团队根据产业化需求研制的用于微纳结构表征的共聚焦扫描测量仪、面向生物医学的立体层析共聚焦显微镜、快速超精密双频激光干涉仪等精密仪器测量设备。

　　中国工程物理研究院激光核聚变研究中心袁晓东报告的题目是《Research on the Precision Assembly System for SG-III Laser Facility 》。据介绍激光诱导惯性约束核聚变是实验室常用的实现核聚变的方法。大型高能激光装置对于方法的实现非常重要，目前在美国、法国和中国(SG-III)共有三个大型高能激光装置。袁晓东在报告中介绍了SG-III的设计和一体化装配过程，LRU模型的离线精密装配与在线准确重置能够满足大型激光装置的安装与调试。

　　北京交通大学冯其波教授报告的题目是《System for simultaneously measuring 6DOF geometric motion errors using fiber-coupled laser》。据介绍，提高受控机床的精度，可以从改善硬件设施或是误差补偿的方法入手。冯其波教授表示：做精密仪器“方向决定成败、细节决定高低。”还介绍了团队研制的单轴6自由度误差测量系统。光纤的使用使系统热稳定性得到了提高，可稳定的通过补偿降低误差。

　　哈尔滨工业大学 Yi Zhou报告的题目是《Experiments on Terahertz 3D Scanning Microscopic Imaging》。Yi Zhou介绍了团队研制的2.52太赫兹双轴反射共聚焦显微镜，其纵向和横线分辨率分别超过了0.314mm和0.353mm。该仪器在2D和3D成像方面非常稳定，可被用于生物学、制药等领域。

　　中国科学院光电研究院周维虎教授报告的题目是《飞秒激光频率梳精密测量技术研究》。飞秒光梳是频率和相位完全受控的飞秒锁模脉冲激光。主要用于绝对距离测量、频率测量等测量和低噪声微波源和任意光脉冲合成。周继虎教授介绍了飞秒光梳的实用化研制，基于该原理该团队还研发了飞秒激光跟踪仪可用于台阶测量、自由曲面测量、时频测量等方面。

　　中国科学院上海光学精密机械研究所邵建达报告的题目是《Large optics metrology for SG-series laser facility》。组成大型SG激光系统的大口径光学元件种类多、数量大，他们的特性参数与激光装置的性能相关，对大口径光学元件检测的装置要求很高。该团队建立的检测技术满足高精度光学元件的检测需求，部分光学元件已经优于之前NIF光学元件水平。

　　来自华中科技大学的刘世元教授报告的题目为《Mueller Matrix Ellipsometry for Nanostructured Surface Metrology》。据介绍，Mueller矩阵椭偏计(MME)非常适合无损纳米结构测量，对光的偏振、散射和其它特性的深入研究对于表面测量非常重要。为了将MME商品化，团队还创建了武汉颐光科技有限公司，目前已经具备椭偏仪批量生产能力实现了MME的产品销售。

　　哈尔滨工业大学ChangKun Fan报告的题目是《Controlling Software Development of CW Terahertz Target Scattering Properties Measurements Based on LabVIEW(IPTA05-066)》。据介绍，该团队开发了太赫兹目标散射特性测量的控制软件。该软件可手动或自动移动坐标平台，可设置间断频率、测量时间等参数实现自动测量。目前该软件已经申请得到国家专利。